módulo do plc da placa do ASM de 64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C
Tipo/fabricante | ASM/Netherlands |
Número da peça |
64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C |
Número da peça alternativa |
64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C |
Descrição | Placa do ASM |
Dimennsions | 18.8cm x 12.1cm x 4.6cm |
Peso | 0.26kg |
Detalhes do produto
Os materiais de origem incluem SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 e BBr3. O outro material de lubrificação pode
igualmente seja controlado, contanto que vaporizam com concentração adequada para exato
ratiodetection. Os gás de portador incluem H2, o, N2, O2 e AR.
Três saídas são fornecidas: Fonte (0 a +5VDC); Portador (0 a +5VDC); Relação (0 a +5VDC).
Estas saídas podem ser monitoradas com todo o voltímetro de uma C.C. de 5 volts com uma sensibilidade de 1000
ohms/volt ou mais. Uma válvula incorporado varia o caudal da massa do portador para controlar a fonte
grama/Min. selecionado por uma tensão do controle externo.
Um único pacote pequeno contém a seção do medidor de fluxo, detector da relação, válvula de controle e
eletrônica.
COMANDO que AJUSTA 0,1 a 5 VDC
INDICAÇÃO DA SAÍDA
1. FONTE: 0.1-5 VDC linearmente proporcional ao caudal maciço do líquido vaporizado
2. PORTADOR: 0.1-5 VDC linearmente proporcional ao caudal maciço do gás de portador
3. RELAÇÃO: 0.1-5 VDC linearmente proporcional à relação do fluxo do vapor (SCCM) ao fluxo do portador (SCCM) escalado com 5 VDC = 50%
Note que quando não há nenhum (isto é nenhum controle) Ratio=0 de borbulhagem e o portador alcançará o valor maior do que 5vdc (tipicamente 5,6 volts).
IMPEDÂNCIA DA SAÍDA: 10 ohms máximo
ONDINHA: 50 milivolt p-p máximos
Notícia de Moore
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